长鑫存储请求废气处理设备及处理办法专利提高废气设备的安全性和可靠性

  长鑫存储请求废气处理设备及处理办法专利，提高废气处理设备的安全性和可靠性

  金融界2024年2月19日音讯，据国家知识产权局公告，长鑫存储技能有限公司请求一项名为“废气处理设备及处理办法“，揭露号CN117553306A，请求日期为2022年8月。

  专利摘要显现，本揭露供给了一种废气处理设备及处理办法，触及半导体技能领域。废气处理设备包含废气运送通道、废气焚烧腔室、衔接通道和加热设备，衔接通道用于连通废气运送通道和废气焚烧腔室；加热设备设置于衔接通道处，加热设备用于对衔接通道中的废气加热。经过在衔接通道处设置加热设备，对衔接通道中的废气加热，削减废气在衔接通道中发生反响生成的结晶，一起能消除部分已发生的结晶，防止衔接通道阻塞，确保废气处理设备的正常工作，提高废气处理设备的安全性和可靠性。